蚀刻用等离子体
在大气压下,能够进行有机膜、无机膜的蚀刻工序。显示器、手机、半导体、玻璃、薄膜、聚合物等目前为止,有机膜、无机膜的蚀刻工序只有在真空腔体内才可进行,但使用本产品可在大气压中进行蚀刻。.该产品采用特殊设计的等离子头和放电系统,在大气压中实现等离子放电,可有效去除有机膜、无机膜(蚀刻、去垢),来降低生产时出现的不良率。.[ 特殊工序用etching/ashing/discum]
采样泵试验台
核电厂和核电企业出口
气溶胶粒径谱仪
沉积用等离子体
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